Ngwa anya na igwe lithography

Nhazi ngwa anya nwere ọtụtụ ngwa na mpaghara semiconductor. N'igwe fotolithography, sistemụ anya na-ahụ maka ilekwasị anya n'ìhè ọkụ na-ebunye site na ìhè ọkụ wee tụnye ya na wafer silicon iji kpughee ụkpụrụ sekit. Ya mere, imewe na njikarịcha nke ngwa anya na usoro fotolithography bụ ụzọ dị mkpa iji melite arụmọrụ nke igwe fotolithography. Ndị a bụ ụfọdụ ngwa anya eji na igwe fotolithography:

Ebumnuche amụma
01 Ebumnobi ntule bụ isi ihe akụrụngwa ngwa anya na igwe lithography, na-enwekarị usoro anya m gụnyere lenses convex, oghere anya concave na prisms.
02 Ọrụ ya bụ imebi usoro sekit na ihe mkpuchi ahụ wee lekwasị anya na wafer nke ejiri foto resisist kpuchie ya.
03 izi ezi na arụmọrụ nke ebumnobi amụma ahụ nwere mmetụta dị ukwuu na mkpebi na ịdịmma onyonyo nke igwe lithography.

Igwefoto
01 Igwefotoa na-eji iji gbanwee ntụziaka nke ìhè ma na-eduzi ya na ebe ziri ezi.
02 N'ime igwe lithography EUV, enyo dị mkpa karịsịa n'ihi na ọkụ EUV na-etinye ngwa ngwa site na ihe, yabụ a ga-eji enyo nwere ngosipụta dị elu.
03 Izi ezi nke elu na nkwụsi ike nke onye na-atụgharị uche na-enwekwa mmetụta dị ukwuu na arụmọrụ nke igwe lithography.

Ihe nzacha
01 A na-eji ihe nzacha wepụ ihe ọkụ ọkụ na-achọghị, na-emeziwanye izi ezi na ogo nke usoro fotolithography.
02 Site na ịhọrọ nzacha kwesịrị ekwesị, enwere ike ijide n'aka na ọ bụ naanị ìhè nke otu ogologo waveleng na-abanye na igwe lithography, si otú ahụ na-emeziwanye izi ezi na nkwụsi ike nke usoro lithography.

Prisms na ihe ndị ọzọ
Na mgbakwunye, igwe lithography nwekwara ike iji ngwa anya ihe inyeaka ndị ọzọ, dị ka prisms, polarizers, wdg, iji zute ihe ndị chọrọ lithography akọwapụtara. Nhọrọ, imewe na imepụta akụrụngwa ngwa anya ndị a ga-agbasorịrị usoro teknụzụ dị mkpa yana ihe achọrọ iji hụ na ịdị elu na ịdị mma nke igwe lithography dị.

Na nchịkọta, ngwa ngwa ngwa ngwa n'ọhịa nke igwe lithography na-achọ imeziwanye arụmọrụ na mmepụta nke igwe lithography, si otú a na-akwado mmepe nke ụlọ ọrụ mmepụta ihe microelectronics. Site na mmepe teknụzụ lithography na-aga n'ihu, njikarịcha na imepụta ihe ngwa anya ga-enyekwa ikike dị ukwuu maka imepụta ibe ndị ọzọ.

Maka nkọwa ndị ọzọ na ndụmọdụ ndị ọkachamara, gaa na webụsaịtị anyị nahttps://www.jiujonoptics.com/ịmụtakwu banyere ngwaahịa na ngwọta anyị.